设备型号:HC-1000A
一、主要用于单片式ITO导电玻璃、盖板玻璃、硅片、光刻自动清洗、去胶剥离清洗
二、基本参数
1.工件尺寸:40*40mm/50*50mm/200*200mm 4寸-12寸硅片
2.设备结构形式:封闭式清洗
3.清洗专用片盒放置位置数量:2个
4.单个片盒存放基片数量:25片
5.片盒检测:传感器
6.机械手臂转轴:4轴机器人
7.机械手臂对位精度:±0.1mm
8.漏扫及错扫率:<1/10000
9.清洗主轴转速:额定3000RPM
10.承片台:夹持多点支撑、机械安全限位的方式
三、备件耗材
1.清洗液过滤器:2套
2.N2过滤器:2套
3.去离子水过滤器:2套
4.毛刷:2套