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半导体酸碱清洗机
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所在地： 江苏
有效期至： 长期有效
最后更新： 2020-03-02 14:17
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公司基本资料信息
详细说明
 
自动化设备：晶圆片在工艺槽之间的移动，通过机械手完成。可实现 干进干出，自动上料、自动下料，自动配液、自动补液。全 自动多用于工作环境、工艺要求高的工序，以及大尺寸晶圆 清洗。
半自动设备：晶圆片花篮在工艺槽之间的移动，通过人工取放；通过彩色触摸屏实现人机沟通交互和完成。可实现工艺参数的设定、修改和储存、清洗过程的实时监控和时显示，工作完成提示、故障报警等。各工艺槽具备一键操作按钮。
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